RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
光源 激光二极管泵/固态晶振镭射(波长:532nm,额定输出:500mW)
镭射材料 蓝宝石,PFA
流量 10mL/min
粒径范围 (4通道,标配) ≥0.04μm;≥0.08μm;≥0.1μm;≥0.15μm
可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.04~0.15μm
粒子数量 30000颗/ml
电源 DC12V(由KE-40B1供应)
尺寸.重量 147（H）X 272(W) X 442(D)mm, 约重:12kg