RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
粒径范围(4通道): ≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm
可选通道: 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.15~0.5µm
光源: 镭射二极管(波长830nm,额定输出200mW)
镭射材料: 人造石英PFA
流量: 100ml/分钟
粒径范围(4通道): ≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm
可选通道: 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.15~0.5µm
粒子数量: 1200颗/ml
电源: DC12V(由KE-40B1供应)
尺寸.重量: 160×300×250mm,大约:7.5kg